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首頁 > 產品中心 > 工業控制系列 > 氣體流量計>MC型MC 氣體標準質量流量控制器

產品名稱:MC 氣體標準質量流量控制器

發布時間:2025-12-17

產品型號:MC型

產品特點:MC 氣體標準質量流量控制器控制響應很快、很穩定的質量流量控制器,可測量并控制低至2.5微升的流量,依照用戶應用需求量身定制閥門孔徑以確保達到很好工作效果。

MC型MC 氣體標準質量流量控制器的詳細資料:

MC 氣體標準質量流量控制器產品介紹:


  MC 氣體標準質量流量控制器全球控制響應很快、很穩定的質量流量控制器,可測量并控制低至2.5微升的流量,依照用戶應用需求量身定制閥門孔徑以確保達到很好工作效果。


所有氣體的滿量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之間( H2 為 10,000 SLPM)

監測四個變量: 質量流量、體積流量、壓力和溫度

控制三個變量之一:質量流量、體積流量或壓力

預加載98 多種氣體校準且可供用戶選擇

本地、模擬或數字控制,包括工業協議


技術參數:


穩態控制范圍:滿量程的0.01% – 100%

NIST 可追溯校準

標準精度:讀數的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準

高精度:讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準

重復性:±(讀數的0.1% + 滿量程的0.02%)

典型控制響應時間:快至 30 ms

預熱時間:<1秒

兼容氣體:98+ 純氣體和混合非腐蝕性氣體

工作溫度:–10°C 至 +60°C

滿量程工作壓力:160 PSIA (11 barA)


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